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Technologie de polissage ultra-précise, pas facile !

J'ai vu un tel rapport il y a longtemps : des scientifiques d'Allemagne, du Japon et d'autres pays ont passé 5 ans et dépensé près de 10 millions de yuans pour créer une boule en silicium 28 de haute pureté.Cette boule de silicium pur de 1 kg nécessite un usinage, un meulage et un polissage ultra-précis, une mesure de précision (sphéricité, rugosité et qualité), on peut dire que c'est la boule la plus ronde du monde.

Introduisons le processus de polissage ultra-précis.

01 La différence entre meulage et polissage

Meulage : à l'aide de particules abrasives enduites ou pressées sur l'outil de meulage, la surface est finie par le mouvement relatif de l'outil de meulage et de la pièce sous une certaine pression.Le meulage peut être utilisé pour traiter divers matériaux métalliques et non métalliques.Les formes de surface traitées comprennent des surfaces planes, intérieures et extérieures cylindriques et coniques, des surfaces sphériques convexes et concaves, des filets, des surfaces de dents et d'autres profils.La précision de traitement peut atteindre IT5~IT1, et la rugosité de surface peut atteindre Ra0.63~0.01μm.

Polissage : Une méthode de traitement qui réduit la rugosité de surface de la pièce par action mécanique, chimique ou électrochimique pour obtenir une surface brillante et lisse.

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La principale différence entre les deux est que la finition de surface obtenue par polissage est supérieure à celle du meulage, et des méthodes chimiques ou électrochimiques peuvent être utilisées, tandis que le meulage n'utilise essentiellement que des méthodes mécaniques, et la taille de grain abrasif utilisée est plus grossière que celle utilisée pour polissage.C'est-à-dire que la taille des particules est grande.

02 Technologie de polissage ultra-précise

Le polissage ultra-précis est l'âme de l'industrie électronique moderne

La mission de la technologie de polissage d'ultra-précision dans l'industrie électronique moderne n'est pas seulement d'aplatir différents matériaux, mais aussi d'aplatir des matériaux multicouches, de sorte que des tranches de silicium de quelques millimètres carrés puissent former des dizaines de milliers de VLSI composés de millions de transistors.Par exemple, l'ordinateur inventé par l'homme est passé de dizaines de tonnes à des centaines de grammes aujourd'hui, ce qui ne peut être réalisé sans un polissage d'ultra-précision.

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Prenant l'exemple de la fabrication de plaquettes, le polissage est la dernière étape de l'ensemble du processus, le but est d'améliorer les minuscules défauts laissés par le processus précédent de traitement des plaquettes pour obtenir le meilleur parallélisme.Le niveau actuel de l'industrie de l'information optoélectronique nécessite des exigences de parallélisme de plus en plus précises pour les matériaux de substrat optoélectroniques tels que le saphir et le silicium monocristallin, qui ont atteint le niveau du nanomètre.Cela signifie que le processus de polissage est également entré dans le niveau d'ultra-précision des nanomètres.

L'importance du processus de polissage ultra-précis dans la fabrication moderne, ses domaines d'application peuvent expliquer directement le problème, notamment la fabrication de circuits intégrés, les équipements médicaux, les pièces automobiles, les accessoires numériques, les moules de précision et l'aérospatiale.

La technologie de polissage de pointe n'est maîtrisée que par quelques pays comme les États-Unis et le Japon

Le dispositif central de la machine à polir est le «disque de meulage».Le polissage ultra-précis a des exigences presque strictes sur la composition du matériau et les exigences techniques du disque de meulage dans la machine à polir.Ce type de disque en acier synthétisé à partir de matériaux spéciaux doit non seulement répondre à la précision nanométrique du fonctionnement automatique, mais également avoir un coefficient de dilatation thermique précis.

Lorsque la polisseuse fonctionne à grande vitesse, si la dilatation thermique provoque une déformation thermique du disque de meulage, la planéité et le parallélisme du substrat ne peuvent pas être garantis.Et ce genre d'erreur de déformation thermique qui ne peut pas se produire n'est pas de quelques millimètres ou de quelques microns, mais de quelques nanomètres.

À l'heure actuelle, les meilleurs processus de polissage internationaux tels que les États-Unis et le Japon peuvent déjà répondre aux exigences de polissage de précision des matières premières de substrat de 60 pouces (qui sont surdimensionnées).Sur cette base, ils ont maîtrisé la technologie de base des processus de polissage ultra-précis et ont fermement saisi l'initiative sur le marché mondial..En fait, la maîtrise de cette technologie contrôle également dans une large mesure le développement de l'industrie de la fabrication électronique.

Face à un blocus technique aussi strict, dans le domaine du polissage d'ultra-précision, mon pays ne peut pour l'instant que faire de l'auto-recherche.

Quel est le niveau de la technologie de polissage ultra-précise de la Chine ?

En fait, dans le domaine du polissage d'ultra-précision, la Chine n'est pas sans réalisations.

En 2011, le « matériau standard de taille de particules de microsphère d'oxyde de cérium et sa technologie de préparation » développé par l'équipe du Dr Wang Qi du Centre national des sciences à l'échelle nanométrique de l'Académie chinoise des sciences a remporté le premier prix de l'industrie pétrolière et chimique de Chine. Prix ​​​​de l'invention technologique de la Fédération et matériaux standard associés à la taille des particules à l'échelle nanométrique Obtention de la licence nationale d'instrument de mesure et du certificat national de substance standard de première classe.L'effet de test de production de polissage ultra-précis du nouveau matériau d'oxyde de cérium a dépassé les matériaux traditionnels étrangers d'un seul coup, comblant le vide dans ce domaine.

Mais le Dr Wang Qi a déclaré : « Cela ne signifie pas que nous avons atteint le sommet de ce domaine.Pour l'ensemble du processus, il n'y a que du liquide de polissage mais pas de machine de polissage d'ultra-précision.Tout au plus, nous ne vendons que des matériaux.

En 2019, l'équipe de recherche du professeur Yuan Julong de l'Université de technologie du Zhejiang a créé la technologie de traitement mécanique chimique abrasif semi-fixe.La série de polisseuses développées a été produite en série par Yuhuan CNC Machine Tool Co., Ltd., et a été identifiée comme iPhone4 et iPad3 glass par Apple.Seul équipement de polissage de précision au monde pour le polissage des panneaux et des fonds de panier en alliage d'aluminium, plus de 1 700 machines de polissage sont utilisées pour la production en série des plaques de verre pour iPhone et iPad d'Apple.

Le charme du traitement mécanique réside en cela.Afin de rechercher des parts de marché et des bénéfices, vous devez faire de votre mieux pour rattraper les autres, et le leader technologique s'améliorera et s'améliorera toujours, pour être plus raffiné, pour constamment rivaliser et rattraper son retard, et pour promouvoir le grand développement de technologie humaine.


Heure de publication : 08 mars 2023